Beim Laserätzen wird Material entfernt, indem ein hochenergetischer Laserstrahl fokussiert wird, der die Materialoberfläche augenblicklich verdampft oder schmilzt.
Laserätzen ist ein Verarbeitungsverfahren, bei dem ein Hochenergielaser auf die Oberfläche eines Materials einwirkt und chemische oder physikalische Veränderungen verursacht, um eine Materialverdünnung oder -bohrung zu erreichen. Beim Laserätzen erzeugt der Laserstrahl durch die Fokussierlinse eine sehr hohe Lichtenergiedichte, wodurch die Materialoberfläche sofort verdampft oder schmilzt oder sogar verdampft und kleine Löcher, Vertiefungen oder Strukturen entstehen.
Laserätzen bietet Vorteile wie hohe Präzision, hohe Effizienz und hohe Qualität und kann zur Herstellung von Mikrostrukturen und kleinen Geräten verwendet werden. Im Vergleich zu herkömmlichen mechanischen Verarbeitungsmethoden kann beim Laserätzen eine höhere Morphologiekomplexität und Verarbeitungsqualität erreicht werden, wodurch die Anforderungen der Verarbeitung auf Mikrometerebene vollständig erfüllt werden.
Das Laserätzen wird häufig bei der Herstellung von Mikrogeräten wie Mikroprozessoren, Biochips, Glasfaser-Kommunikationsgeräten, Solarmodulen sowie in der Oberflächenstrukturbearbeitung, im Rahmen von Fälschungsschutzverfahren, bei der Formenbearbeitung und in anderen Bereichen eingesetzt.